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基础信息Product information
产品名称：S3022F国产2通道源表
产品型号：
更新时间：2025-11-14
产品简介：
S3022F国产2通道源表，电压范围100nV到200V，电流范围100fA到3A，其中脉冲可以到10A，最大输出功率30W，最大采样率1MS/s
产品特性Product characteristics
“精"——上海市先JIN企业!
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“新"——注册资本实缴壹仟万元!实缴资金行业中居前茅!抗金融风险能力强!
S3022F国产2通道源表，2通道，电压范围±100nV到±200V，电流范围100fA到±3A，其中脉冲可以到±10A，最大输出功率30W，最大采样率1MS/s。
电压源指标
电压设置精度 | 量程 | 设置分辨率 | 精度(1 年)±(%读数+ 偏置) | 典型噪声(有效值)0.1 Hz-10 Hz |
±200 V | 1 mV | 0.02%+30 mV | 1.5 mV | |
±20 V | 100 μV | 0.02%+2 mV | 160 μV | |
±6 V | 50 μV | 0.02%+500 μV | 36 μV | |
±200 mV | 1 μV | 0.02%+120 μV | 4 μV | |
温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
单通道最大输出功率 | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
设置时间 | <800μs(典型值) | |||
过冲 | <±0.1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试) | |||
噪声 10Hz-20MHz | 6V 电压源，3A 电阻负载，<3 mVrms | |||
[1]精度计算示例：测试200mV量程120mV输出的精度，则允差为：
[2]本仪表有潜在的危险高压(±210 V)输出到HI /Sense HI/Guard端子，为防止电击，在开机前必须做好相关的安全防范措施。请勿将Guard端子接到任何输出，包括短接到机箱地或是输出LO，否则会损坏仪表
电流源指标
电流设置精度 | 量程 | 设置分辨率 | 精度(1 年)±(% 读数+偏置) | 典型噪声(有效值)0.1 Hz-10 Hz |
±10 A1 | 50 μA | 0.4% + 40 mA | NA | |
±3 A | 15 μA | 0.05% + 2 mA | 40 μA | |
±1.5 A | 10 μA | 0.02% + 500 μA | 20 μA | |
±150 mA | 1 μA | 0.02% + 25 μA | 5 μA | |
±15 mA | 100 nA | 0.02% + 6 μA | 700 nA | |
±1.5 mA | 10 nA | 0.02% + 250 nA | 16 nA | |
±150 μA | 1 nA | 0.02% + 25 nA | 21 nA | |
±15 μA | 100 pA | 0.02% + 3 nA | 140 pA | |
±1.5 μA | 10 pA | 0.03% + 450 pA | 25 pA | |
±150 nA | 1 pA | 0.05%+250 pA | 5 pA | |
温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
单通道最大输出功率 | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
设置时间 | <500 μs(典型值) | |||
过冲 | <±0.1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试) | |||
1、10A 量程仅支持脉冲模式, 精度为典型值
电压表指标
电压测量精度 | 量程 | 显示分辨率 | 精度(1 年) ±(% 读数+偏置) |
±200 V | 100 μV | 0.02% + 30 mV | |
±20 V | 10 μV | 0.02% + 2 mV | |
±6 V | 1 μV | 0.02% + 500 μV | |
±200 mV | 100 nV | 0.02% + 120 μV | |
温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
电流表指标
电流测量精度 | 量程 | 显示分辨率 | 精度(1 年) ±(% 读数+偏置) |
±10 A1 | 10 μA | 0.4% + 25 mA | |
±3 A | 10 μA | 0.05% + 2 mA | |
±1.5 A | 1 μA | 0.02% + 500 μA | |
±150 mA | 100 nA | 0.02% + 25 μA | |
±15 mA | 10 nA | 0.02% + 6 μA | |
±1.5 mA | 1 nA | 0.02% + 250 nA | |
±150 μA | 100 pA | 0.02% + 25 nA | |
±15 μA | 10 pA | 0.02% + 3 nA | |
±1.5 μA2 | 1 pA | 0.03% + 450 pA | |
±150 nA2 | 100 fA | 0.05% + 250 pA | |
温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
1、10A量程仅支持脉冲模式,精度为典型值
2、小电流测量，建议使用三同轴线缆连接：ForceHi接芯线，Guard接内屏蔽层，外屏蔽层接保护地，ForceLo接芯线，内屏蔽层不接，外屏蔽层接保护地，同轴线的额定绝缘电压不小于250V。
电阻表指标（4 线）
量程 | 显示分辨率 | 默认测量电流 | 典型精度(1 年)±(% 读数+偏置) |
1 Ω | 1 μΩ | 1.5 A | 0.073% +0.3334 mΩ |
10 Ω | 10 μΩ | 150 mA | 0.057% + 3.334 mΩ |
100 Ω | 100 μΩ | 15 mA | 0.08% + 33.34 mΩ |
1 kΩ | 1 mΩ | 1.5 mA | 0.057% + 333. 4 mΩ |
10 kΩ | 10 mΩ | 150 μA | 0.057% + 3.334 Ω |
100 kΩ | 100 mΩ | 15 μA | 0.06% + 33.34 Ω |
1 MΩ | 1 Ω | 1.5 μA | 0.06% + 333.4 Ω |
10 MΩ | 10 Ω | 0.15 μA | 0.35% + 3.334 kΩ |
100 MΩ | 100 Ω | 0.05 μA | 0.95% + 10 kΩ |
温度系数 | ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
手动电流源电阻测量（四线） | 总体误差=测量电压/电流源设定电流=电阻读数x(电压源量程的增益误差百分比+电流表量程的增益误差百分比+电流源量程偏置误差/设定电流)+(电压源量程偏置误差/设定电流值) 示例：电流源设定电流=1.5A 电压测量量程=6V 总体误差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ | ||
脉冲源指标（4线）
最小可编程脉宽 | 100 μs |
脉宽编程分辨率 | 1 μs |
脉宽编程精度 | ±10 μs |
脉宽抖动 | 2 μs |
脉冲宽度定义 | 如下图所示，从 10 % 前沿到 90 % 后沿的时间 |
脉冲技术指标 | 最大电流限制 | 最大脉冲宽度 | 最大占空比 |
1 | 0.15 A/200 V | DC,无限制 | 100% |
2 | 1.5 A/20 V | DC,无限制 | 100% |
3 | 3 A/6 V | DC,无限制 | 100% |
4 | 3 A/20 V | 1 ms | 10% |
5 | 10 A/6 V | 1 ms | 10% |
脉冲源上升时间（4 线）
输出 | 量程 | 典型上升时间 1,3 | 典型稳定时间 2,3 | 测试负载 |
电压源 | 200 V | 600 μs | 1.5 ms | 空载 |
20 V | 200 μs | 360 μs | 空载 | |
6 V | 160 μs | 300 μs | 空载 | |
电流源 | 10 A | 140 μs | 320 μs | 满载 |
3 A | 120 μs | 280 μs | 满载 | |
1.5 A | 120 μs | 280 μs | 满载 | |
150 mA | 120 μs | 280 μs | 满载 | |
15 mA | 120 μS | 280 μs | 满载 | |
1.5 mA | 120 μS | 280 μs | 满载 |
1, 脉冲前沿从 10%到 90% 所需的时间。
2, 脉冲达到距离最终值 1%的所需的时间。
3, 电流源测试基于 6V 电压量程下测试，105%满量程钳位设定。
输出建立时间
输出 | 量程 | 典型输出建立时间 | 测试条件 | ||
Fast 1,2 | Normal 1 | Slow1 | |||
电压源 | 200 V | <1.3 ms | <1.5 ms | <2.5 ms | 在开路负载条件下，达到距离最终值 0.1% 以内所需的时间。 步进是范围 10% 至90%。 |
20 V | <300 μs | <360 μs | <1 ms | ||
6 V | <150 μs | <250 μs | <1 ms | ||
200 mV | <200 μs | <250 μs | <1 ms | ||
电流源 | 3 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | 满载条件下，达到距离最终值0.1%以内(对于3A范围，为0.3%)所需的时间。 步进是范围的10%至90%。6V电压量程，105%满量程钳位设定。 |
1.5 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
15 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
1.5 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 μA | <250 μs | <300 μs | <1.2 ms | ||
15 μA | <250 μs | <1.2 ms | <2 ms | ||
1.5 μA | <600 μs | <1.2 ms | <5 ms | ||
150 nA | <600 μs | <5 ms | <12 ms | ||
1、输出转换速率：Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模式在不同的量程或负载条件下输出可能会出现较大过冲，过冲敏感设备建议用 Slow 模式。
1 产品描述
S3022F国产2通道源表/测量单元是结构紧凑、经济高效的台式电源/测量单元(SMU)，能够同时输出并测量电压和电流。这些功能使得S3022F成为既需要高分辨率，又需要高精度的各种 IV(电流与电压)测量任务的理想选择。S3022F 以适中的价格提供优异的性能。它拥有宽泛的电压源(±200V)和电流源(±3A 直流和±10A 脉冲)功能，出色的精度，6位半的显示(100fA/100nV显示分辨率)以及彩色LCD图形用户界面(GUI)。
2 产品特点和优势
量程
大电压大电流量程：±200V、±3A(直流)、±10A(脉冲)，单台 SMU 产品即可同时满足高电压和大电流测量需求， 从而推动测量仪器的标准化，并简化资产管理和支持工作。
最小测量分辨率
最小测量分辨率可达100fA/100nV，可以使用低成本的台式 SMU 进行低电平测量，而以前则需要使用昂贵的半导体器件分析仪。
高速测量
最高可支持1MS/s的ADC采样率，NPLC和采样率可选。
传感模式
支持2线或4线（远程传感）连接；最大传感引线电阻：1 kΩ（额定精度）；远程传感输出端与传感端最大电压：2V
SWEEP模式
支持单边和双边的线性，对数，列表扫描。间隔从1μs至16s可配置，单次扫描最大64K点
双边对数扫描
自动量程
支持单点，扫描自动量程。过冲敏感设备建议切换量程前关闭输出再做量程切换动作。
延时测量
支持延时测量，建议用户设置合适的SOURCE DELAY以获得更准确的测量值。
Source Delay 设置示意图
注意：Source delay 必须大于源建立的时间，当采样值不准，需要考电Source delay是否合理，特别是小电流最程。
保护
支持过温保护，当检测到内部温度过高时，输出关闭，待温度回到65度以下会恢复操作使用；
当输出超出 OVP 设定值时关闭输出，设备重置后可进一步操作，精度：±(1%Setting+500mV)
支持传统和默认的 SCPI 命令
支持传统的 SCPI 命令，并可以部分兼容较旧的 SMU 代码(例如 Keithley 2400系列)，从而尽量减少代码转换工作。
5.0 英寸彩色LCD电容触摸屏
采用5.0英寸彩色LCD电容触摸屏，提供了简单易用的前面板GUI，可快速轻松地在前面板上进行测量和显示数据，显著加速交互式测试、表征和调试操作。
软件功能
GUI非常直观和简洁，无需编程即可从 PC 进行远程测量和控制。
电源
电压范围：100-240VAC，频率范围：50/60Hz，
最大功率：250W ，保险丝规格：T3.15AH 250 VAC
预热 1 小时
尺寸（mm） 429*441*112(含脚垫、把手及旋钮)
重量 净重 8 kg
标准出厂附件：电源线，USB线，网线，红色测试线，黑色测试线，U盘（包括PDF手册、快速测量软件和驱动程序）。
一、三象限为源：输出V/I的实际极性跟随源设定；
二、四象限为负载：CC和CV配合，当负载用时，负载设定极性与源极性相反；
可测试各种设备
捕获更多的测量数据
? 6 位半的数字分辨率: 精度相当于6 位半数字万用表；
? 100 fA / 100 nV分辨率: 设置与测量灵敏度；
? 1M点/秒: 提供高速测量，可以快速设置/数字化率于任意波形发生器/列表扫描；
丰富的扫描功能
S3022F两通道源表双通道精密源表
电压源指标
电压设置精度
量程设置分辨率精度(1 年)±(%读数+ 偏置)典型噪声(有效值)0.1 Hz-10 Hz
±200 V1 mV0.02%+30 mV1.5 mV
±20 V100 μV0.02%+2 mV160 μV
±6 V50 μV0.02%+500 μV36 μV
±200 mV1 μV0.02%+120 μV4 μV
温度系数±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
单通道最大输出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
设置时间<800μs(典型值)
过冲<±0.1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)
噪声 10Hz-20MHz6V 电压源，3A 电阻负载，<3 mVrms
[1]精度计算示例：测试200mV量程120mV输出的精度，则允差为：
[2]本仪表有潜在的危险高压(±210 V)输出到HI /Sense HI/Guard端子，为防止电击，在开机前必须做好相关的安全防范措施。请勿将Guard端子接到任何输出，包括短接到机箱地或是输出LO，否则会损坏仪表
电流源指标
电流设置精度
量程设置分辨率精度(1 年)±(% 读数+偏置)典型噪声(有效值)0.1 Hz-10 Hz
±10 A150 μA0.4% + 40 mANA
±3 A15 μA0.05% + 2 mA40 μA
±1.5 A10 μA0.02% + 500 μA20 μA
±150 mA1 μA0.02% + 25 μA5 μA
±15 mA100 nA0.02% + 6 μA700 nA
±1.5 mA10 nA0.02% + 250 nA16 nA
±150 μA1 nA0.02% + 25 nA21 nA
±15 μA100 pA0.02% + 3 nA140 pA
±1.5 μA10 pA0.03% + 450 pA25 pA
±150 nA1 pA0.05%+250 pA5 pA
温度系数±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
单通道最大输出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
设置时间<500 μs(典型值)
过冲<±0.1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)
1、10A 量程仅支持脉冲模式, 精度为典型值
电压表指标
电压测量精度
量程显示分辨率精度(1 年) ±(% 读数+偏置)
±200 V100 μV0.02% + 30 mV
±20 V10 μV0.02% + 2 mV
±6 V1 μV0.02% + 500 μV
±200 mV100 nV0.02% + 120 μV
温度系数±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
电流表指标
电流测量精度
量程显示分辨率精度(1 年) ±(% 读数+偏置)
±10 A110 μA0.4% + 25 mA
±3 A10 μA0.05% + 2 mA
±1.5 A1 μA0.02% + 500 μA
±150 mA100 nA0.02% + 25 μA
±15 mA10 nA0.02% + 6 μA
±1.5 mA1 nA0.02% + 250 nA
±150 μA100 pA0.02% + 25 nA
±15 μA10 pA0.02% + 3 nA
±1.5 μA21 pA0.03% + 450 pA
±150 nA2100 fA0.05% + 250 pA
温度系数±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
1、10A量程仅支持脉冲模式,精度为典型值
2、小电流测量，建议使用三同轴线缆连接：ForceHi接芯线，Guard接内屏蔽层，外屏蔽层接保护地，ForceLo接芯线，内屏蔽层不接，外屏蔽层接保护地，同轴线的额定绝缘电压不小于250V。
电阻表指标（4 线）
电阻测量精度
量程显示分辨率默认测量电流典型精度(1 年)
±(% 读数+偏置)
1 Ω1 μΩ1.5 A0.073% +0.3334 mΩ
10 Ω10 μΩ150 mA0.057% + 3.334 mΩ
100 Ω100 μΩ15 mA0.08% + 33.34 mΩ
1 kΩ1 mΩ1.5 mA0.057% + 333. 4 mΩ
10 kΩ10 mΩ150 μA0.057% + 3.334 Ω
100 kΩ100 mΩ15 μA0.06% + 33.34 Ω
1 MΩ1 Ω1.5 μA0.06% + 333.4 Ω
10 MΩ10 Ω0.15 μA0.35% + 3.334 kΩ
100 MΩ100 Ω0.05 μA0.95% + 10 kΩ
温度系数±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手动电流源电阻测量（四线）总体误差=测量电压/电流源设定电流=电阻读数x(电压源量程的增益误差百分比+电流表量程的增益误差百分比+电流源量程偏置误差/设定电流)+(电压源量程偏置误差/设定电流值) 示例：电流源设定电流=1.5A 电压测量量程=6V 总体误差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ
脉冲源指标（4线）
最小可编程脉宽100 μs
脉宽编程分辨率1 μs
脉宽编程精度±10 μs
脉宽抖动2 μs
脉冲宽度定义如下图所示，从 10 % 前沿到 90 % 后沿的时间
脉冲技术指标最大电流限制最大脉冲宽度最大占空比
10.15 A/200 VDC,无限制100%
21.5 A/20 VDC,无限制100%
33 A/6 VDC,无限制100%
43 A/20 V1 ms10%
510 A/6 V1 ms10%
脉冲源上升时间（4 线）
输出量程典型上升时间 1,3典型稳定时间 2,3测试负载
电压源
200 V600 μs1.5 ms空载
20 V200 μs360 μs空载
6 V160 μs300 μs空载
电流源
10 A140 μs320 μs满载
3 A120 μs280 μs满载
1.5 A120 μs280 μs满载
150 mA120 μs280 μs满载
15 mA120 μS280 μs满载
1.5 mA120 μS280 μs满载
1, 脉冲前沿从 10%到 90% 所需的时间。
2, 脉冲达到距离最终值 1%的所需的时间。
3, 电流源测试基于 6V 电压量程下测试，105%满量程钳位设定。
I-V 输出能力
输出建立时间
输出
量程
典型输出建立时间
测试条件
Fast 1,2Normal 1Slow1
电压源
200 V<1.3 ms<1.5 ms<2.5 ms
在开路负载条件下，达到距离最终值 0.1% 以内所需的时间。
步进是范围 10% 至90%。
20 V<300 μs<360 μs<1 ms
6 V<150 μs<250 μs<1 ms
200 mV<200 μs<250 μs<1 ms
电流源
3 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
满载条件下，达到距离最终值0.1%以内(对于3A范围，为0.3%)所需的时间。
步进是范围的10%至90%。6V电压量程，105%满量程钳位设定。
1.5 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
15 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
1.5 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 μA<250 μs<300 μs<1.2 ms
15 μA<250 μs<1.2 ms<2 ms
1.5 μA<600 μs<1.2 ms<5 ms
150 nA<600 μs<5 ms<12 ms
1、输出转换速率：Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模式在不同的量程或负载条件下输出可能会出现较大过冲，过冲敏感设备建议用 Slow 模式。
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